Ventile für hochreine Anwendungen / Halbleiterindustrie
Übersicht
VU1000
Dieser vielseitige und kompakte Regler ist für Hoch- und Niederdruckanwendungen konzipiert.
Die Serie ist für eine breite Palette von korrosiven und nicht-korrosiven Gasen geeignet.
VU2000
Die VU2000 Serie wurde für die Steuerung von hochreinen, korrosiven, toxischen, brennbaren und inerten Gasen bei hoher Durchflussrate und niedrigem Einlassdruck entwickelt.
VU2500
Die VU2500 Serie wurde für die Steuerung von hochreinen, korrosiven, toxischen, brennbaren und inerten Gasen bei hoher Durchflussrate und niedrigem Einlassdruck entwickelt.
VU3000
Die VU3000 Serie ist ein hochreiner Anlagenregler.
Sie wurde entwickelt, um große Volumina gasförmiger Medien bei niedrigem Druck zu regulieren.
Dieser Regler hat eine extrem hohe Durchflusskapazität oder Cv = 5 / 10 / 15 / 20.
VUMicro
Dieses Reglerdesign basiert auf der prozesserprobten Micro-Serie und beinhaltet einen neuen Kegel und Sitz, der eine erhöhte Durchflusskapazität von 100 slpm ermöglicht.
VUMicroSM
Die VU Micro SM-Serie bietet Stabilität und Empfindlichkeit für oberflächenmontierte Systeme sowie alle Leistungsvorteile des modularen Designs.
Jetzt unverbindlich anfragen!
Wir beantworten gerne Ihre Fragen und beraten Sie umfassend zu Leistungen und Angeboten.